上市公司最新授权发明专利监控：七星电子（002371）2013-12-18

北京七星华创电子股份有限公司最新发明专利： 随机相移混频型压电振子组合兆声波换能器装置201110332322.2；兆声波清洗头及具有该清洗头的兆声波清洗系统201110304716.7，于2013年12月18日获得国家知识产权局授权。

随机相移混频型压电振子组合兆声波换能器装置201110332322.2

的说明书摘要为：

本发明涉及兆声波换能器技术领域，公开了一种随机相移混频型压电振子组合兆声波换能器装置，其中，交流电压激励信号发生放大电路的微处理器用于输出多路交流电压激励信号的频率控制字和移相控制字至多通道交流电压激励信号发生电路，且至少一路移相控制字在一定范围内随时间随机变化；多通道交流电压激励信号发生电路根据频率控制字和移相控制字产生多路交流电压激励信号；功率放大和阻抗匹配电路用于先通过功率放大电路将所产生的交流电压激励信号放大为驱动信号，再通过阻抗匹配电路输出至兆声波换能器组装体；兆声波换能器组装体通过加载所产生的驱动信号产生随机变化的声场。通过本发明能产生表面湿法腐蚀清洗所需要的均匀性声场。

兆声波清洗头及具有该清洗头的兆声波清洗系统201110304716.7

的说明书摘要为：

本发明为一种兆声波清洗头及包括该清洗头的兆声波清洗系统,该清洗头包括:换能器;谐振器,用于传播来自换能器的能量;该谐振器具有上表面和下表面,上表面耦合至换能器,谐振器内部具有不通透上表面、下表面的真空的孔阵列。本发明兆声波清洗头采用内部具有圆柱形或其它几何形状的不通透的真空的孔阵列的谐振器,通过兆声波在其内部的多次反射起到补偿消耗的作用,消除振动波的不均匀性,实现兆声波能量的均匀分布。当半导体上喷有超纯水或者化学液时,通过兆声波产生的均匀的流体波将半导体上的杂质冲掉,并经由液体的流动被带走,从而实现对半导体的清洗,并且对半导体的破坏较小。