[翻译] 日文翻译求助

2009-2-26 22:05
23092

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审查员引用的日本专利,关键一句话见下图,在线等  多谢
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2 个回复

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ron4one  新手上路 | 2009-2-28 05:46:38

Re:日文翻译求助

试译一下:
这时,上述硅氧化膜10相对于上述第一非晶质硅膜4a的面的位置变成突出状态。其次,将上述硅氧化膜10等方向性地蚀刻,通过对例如上述第一非晶质硅膜4a进行大选择比的湿加工,以如图所示那样使上述硅氧化膜10的上端部的角A降低。
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happy猫猫  注册会员 | 2009-3-1 22:05:12

Re:日文翻译求助

此时,上述硅氧化膜10变成为相对于上述第一非晶质硅膜4a的面的位置突出的状态。然后,将上述硅氧化膜10进行等向性蚀刻,比如实施对第一非晶质硅膜4a的选择比(蚀刻速度比)大的湿蚀刻,如图所示,使上述硅氧化膜10的上端部角A降低.

不是半导体专业的,试着翻了一下.觉得楼上翻的\"通过对例如上述第一非晶质硅膜4a进行大选择比的湿加工,\"好像有点问题.供参考.
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