provision的理解

The selected surfaces may be present on a single substrate, which allows homogenization, and the provision of masking surfaces covering part of the underlying surfaces.

如何翻译这句话，谢了先

provision的动词形式即provide，“提供”、“设置”
allow  允许、能够(使、让)

所选择的表面可以在单个基底上，该基底允许homogenization，并允许设置覆盖部分underlying 表面的masking表面。

homogenization（均一化？均匀化？）
underlying surfaces（下伏表面？垫面？）
masking surfaces （掩盖表面？掩膜表面？）