上市公司最新授权发明专利监控：七星电子（002371）2014-02-19
北京七星华创电子股份有限公司最新发明专利：高产量半导体成批晶片处理设备的自动操作 201110068193.0于2014年02月19日获得国家知识产权局授权。高产量半导体成批晶片处理设备的自动操作 201110068193.0的说明书摘要为：
提供了一种方法和系统,所述方法包括:将舟传送单元(BTU)臂从初始位置转动到位于处理室下面的第一位置,该BTU臂携带包含多个部件的舟,该BTU臂与支撑所述舟的舟支座相接合;将所述BTU臂向上移动到第二位置,从而所述舟部分地进入到所述处理室中,离所述处理室的入口的距离为D;将携带基座的升降机臂接合到所述舟支座的下侧;将所述BTU臂从所述第二位置移开;以及将所述升降机臂向上移动以使所述舟完全插入到所述处理室内。本发明是为高产量而对部件传送进行自动化的技术。
页:
[1]